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(10/2)ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御

44,000円(税込)
 ドライエッチング技術は、半導体デバイスの微細化・高集積化を実現するためのキーテクノロジーです。しかしながら、プラズマを用いた物理化学反応でエッチングが進むため、電気、物理、化学の総合的な知識を必要とし、かつチャンバー内で起こっている現象が複雑なため理解を難しくしています。特に半導体材料メーカーのエンジニアの方々が、自分たちの技術との関連でドライエッチングを理解することはきわめて難しい状況にあります。
 本セミナーではドライエッチングのメカニズム、各種材料のエッチング、およびドライエッチング装置について分かりやすく解説します。セミナーでは、まずドライエッチングの基礎から始め、極力数式を使わないでドライエッチングのメカニズムが容易に理解できるよう解説します。各種材料のエッチングでは単なる各論にとどまらず、エッチングを支配するパラメータとその制御方法について詳細に解説します。ここではプラズマからから被エッチ膜表面への入射種とエッチ速度、選択比、形状との相関関係、およびこれら加工特性の制御手法について解説します。また、半導体製造に実際に使われている各種ドライエッチング装置に関し、プラズマ発生原理や特徴について解説するとともに、プロセスを制御する上で重要な役割を担っている静電チャックについても解説します。
 本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、入門としても、またドライエッチングのプロを目指す方にも最適な講座となっています。また、半導体材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの全体像を理解し、また自分たちの技術がどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。
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(10/3)ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)

44,000円(税込)
 半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せられる要求はますます厳しくなってきており、10nmノード以降では原子レベルで表面反応を制御するアトミックレイヤーエッチング(ALE)が必要となってきています。本セミナーでは、ドライエッチングの最新技術動向、プラズマダメージ、およびALEについて分かりやすく解説します。
 最新技術動向では、Low-k Cuダマシンエッチング、メタルゲート/High-kエッチング、FinFETエッチング、3D IC用エッチング技術、さらには最近注目されているマルチパターニングや3D NANDのHARCエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説します。
 プラズマダメージに関してはチャージアップの発生メカニズム、各種エッチング装置のチャージアップアップ評価について解説し、プロセス面、ハードウェア面、デバイスデザインルール面からの対策方法を明らかにします。ここでは、生産現場で実際に起こった不良事例も紹介します。
 アトミックレイヤーエッチング(ALE)に関しては最初に原理と特徴について解説し、次にSi やGaN、AlGaNのALEで実際にその特徴が実現できることを示します。さらには10nmロジックデバイスへの適用が始まったSiO2のALEについて詳細に解説します。
 本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、ドライエッチングのプロを目指す方に最適な講座となっています。また、半導体材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの最新技術動向を理解し、また自分たちの技術が先端デバイスの中でどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。
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(11/6)【京都開催】 洗浄の本質理解と 超音波洗浄の実用知識・ノウハウ

49,500円(税込)
 これまでの洗浄に関するコンサルティング経験から、洗浄に対する取り組みは新素材や新加工・製造技術の進歩に伴い、従来の経験や直観では対応できなくなってきており、洗浄原理の理解を深めることが重要であるといえます。
 本セミナーは、基本的な洗浄を見直す機会として、あるいは洗浄の基本を理解する機会として、物の表面を測定する簡易デモンストレーションを行いながら、洗浄の複雑さと重要事項(ノウハウ)を説明したいと考えます。具体的には、洗浄のメカニズムや基本的な知識についてわかり易く解説するとともに、講師の洗浄装置開発・コンサルティング経験から得られた洗浄のテクニック(水槽設計・製造、ファインバブルの利用、キャビテーションと音響流の最適化技術、洗浄中の表面弾性波測定技術等)、問題解決テクニック、大小各種材料(部品・製品)の表面処理事例等について紹介します。
 また今回は、医療用・真空用・半導体用で洗浄が不十分だったパイプ・チューブ・ホースなどの内部洗浄について、メガヘルツの超音波発振制御技術を利用した精密洗浄方法についても説明します。同手法は、ガラス・樹脂レンズ・真空部品・セラミックなどに対しても有効です。
 超音波の数値化・観察として、メガヘルツの超音波発振制御プローブによる簡易デモンストレーションも行います。
今回のセミナーでは、以下の項目についても詳しく説明します。
①なぜ、ファインバブルが有効なのか? ②ファインバブルをどのように発生するのか? ③どのように超音波洗浄機で利用するのか?
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(11/7)【京都開催】 効率的、確実に目的を達成できる 実験の考え方と具体的方法

49,500円(税込)
 研究開発、商品開発などR&Dにおいて実験は必要不可欠なものである。そして、開発においてはスピードと効率性、確実性が要求されており、その実現を左右する最も重要なものの一つが実験であると言える。そのため、実験計画法などの研修や教育も行われているが、残念ながらそういった研修の多くは個別的なテクニックでしかないため、実務で使えないという声が多く聞かれる。
 最も必要とされる、実験ノウハウや、実験そのものの考え方、計画の立て方など、実験実務は現場任せ、本人任せとなっているのがじつ状である。そのため、それぞれが自己流で実験技術を蓄積していくため、レベルもバラバラで、部署として、会社としての蓄積も生まれない。その結果、人員間、部署間でのバラつきはもちろん、属人的となることで実験技術の継承が行われず、時間軸でのバラツキも生んでいる。
 本セミナーでは、従来のような実験計画法のような単なるテクニックだけではなく、実験そのものの考え方や計画の立て方、実験実務の進め方といった、根幹部分に重点を置いて、さらには、それらを如何にして教育、継承していくかという点についても詳細に解説する。
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(7/19)断熱材の基礎知識および高性能断熱材の開発動向 ~サーマルマネジメント材料の基礎を学ぶ~

43,200円(税込)
 住宅や自動車などの熱マネジメントの高度化に伴い、高性能な断熱材の利用に関心を寄せる方が増えています。しかし断熱材は性能の評価が難しく、効果に疑問のある材料が数多く出回っているのが現状で、導入したけれど思ったような効果が上がらなかった、といった声も多く耳にします。
 本講演では断熱材の基礎知識をわかりやすく解説し、断熱材に関心のある方に、適切な判断をするために必要な知識を身につけていただくことを目標とします。今回「サーマルマネジメント材料技術」の発刊に合わせ、内容をリニューアルしました。
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(7/22)薄膜の力学的特性と内部応力・密着性制御、測定・評価

48,600円(税込)
 薄膜の密着性を改善するためには薄膜あるいは界面の特性をよくすればよい。しかし、どれだけよくすれば効果が現れるのか判断することが難しい。意外に知られていないことが、密着性は破壊現象の測定であってそのメカニズムによって臨界値が変わることです。そして、他人のデータ(他の装置の結果)を利用することはもっと難しいことです。
 自分で密着性の測定を行うに当たって特に注意するべき点を紹介します。また、密着性と関係が深い内部応力などの性質や、そうした力学的性質を通して膜の壊れ方の多様性、ひいては良質の膜をつくる技術を学びます。
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(7/22)徹底解説! 工場・生産ライン・設備の自動化講座 ~計画と構築、量産開始プロセスまで~

48,600円(税込)
自社の工場の生産性を上げていくためには、生産設備の自動化は不可欠です。労働者不足、生産変動、品質安定化、コスト低減などの様々な課題に対応した次世代工場への変革を着実に進めていかなければなりません。工場における生産設備や生産ラインの自動化は、工場レイアウトや設備・作業方法を一から見直し、徹底したスリム化を図ることがまず第一歩です。同時に、自社工場の自動化レベルを認識し、中長期的な計画を立て自動化を実行していくための技術力やリーダーシップを身に付けることが重要です。
 本講座では、工場の改善方法から自動化のあるべき姿、自動化の定義や考え方についてまた、工場の自動化を進める上で必要なプロセスについても具体的な自動化の事例をもとにわかりやすく丁寧に説明します。
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(7/22)技術/研究者のためのコーチング的コミュニケーション技術

48,600円(税込)
 技術/研究者は専門職であるゆえ、自分一人で仕事に打ち込み、職人気質の人が多い。しかし、最近は技術/研究者の役割に後輩の育成が1つのテーマになっている。さらに、中堅社員は部門横断型プロジェクトへ参画する機会もあり、価値観の違うプロジェクトメンバーとの協働作業が必要になる。このセミナーでは、コーチングの基礎を学び、これを活用したコミュニケーション技術をセッション及びグループディスカッションにより習得する。
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(7/23)磁性材料を取り扱うための総合知識

48,600円(税込)
 磁性材料は、モーターや変圧器、電源などに用いられる各種インダクタ、センサー、磁気記録装置などの様々な用途で用いられています。磁性材料には軟磁性材料(磁心材料)と硬磁性材料(永久磁石)があり、その性質は全く異なります。また、軟磁性材料にも硬磁性材料にも特性が異なる材料が数多く市販されており、その中から用途に応じて最適な材料を選定する必要があります。
 本セミナーでは、最初に磁性と磁性材料の基礎について、特に磁性材料の性質を理解するうえで欠かせない磁区とヒステリシスの関係について説明いたします。次いで、各種の軟磁性材料と硬磁性材料の特徴とその応用について説明いたします。これらの知識は、磁性材料選定の手助けになります。
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(7/23)原子間力顕微鏡(AFM)の基本原理、測定と そのノウハウ、データの取得・解析方法 ~AFMの基本理解および有効活用に向けて~

48,600円(税込)
 「ナノテクノロジーの目」とも言われているAFM(原子間力顕微鏡)は、SEMなどと同様に一般化しつつあり、また小型で安価なことから企業の基礎開発部門に多く導入されるようになってきました。AFMを用いれば、試料表面の諸性質(硬さ、導電性、帯電性、加工、相互作用力、付着性など)、微粒子やレジストパターンなどの微小固体の諸性質(付着性、マニピュレーション、帯電性)、各種コーティング、特殊測定(液滴形状、ナノバブル観察)など、幅広い解析が効果的に行えます。しかしながら、実際に実用的なAFM測定を行うためには、基本原理や測定方法、そして解析方法などの基礎を習得する必要があります。その結果、測定がうまくいかない場合には、原因が分からないため、利用範囲も形状観察程度に留まっているケースが多く見受けられます。
 本セミナーでは、汎用性の高い大気中および液中測定用のAFMを中心に豊富なデータに基づき解説します。これからAFMの導入を検討される方、初めてAFMを操作される方にも分かりやすく装置の基本原理や操作方法、データの取得や解析方法についてまで解説します。また、日頃のトラブル対策や技術開発相談にも対応します。

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