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(5/21)【Live配信(リアルタイム配信)】 リソグラフィ/EUVリソグラフィー技術の基礎、 最新技術動向と課題解決策および今後の展望

【Live配信(リアルタイム配信)】
リソグラフィ/EUVリソグラフィー技術の基礎、
最新技術動向と課題解決策および今後の展望


■半導体微細加工の最新動向、今後の半導体技術動向とは!■
■レジスト材料プロセス、マスク欠陥技術、ペリクル技術、EUV用光源技術、Beyond EUV■

本セミナーは、Zoomによる【Live配信受講】のみです。
※詳細につきましては下記「オンライン配信」の項目をご確認ください。

★ ここ数年で大きくシェアを伸ばしているEUVリソグラフィー!
★ 5nm nodeに向けた課題解決へ!半導体微細加工周辺技術を学ぶ!


日 時 2021年5月21日(金)  10:30~16:30
会 場 Live配信セミナー(リアルタイム配信) ※会社・自宅にいながら受講可能です※    
受講料(税込) 49,500円    
定価:本体45,000円+税4,500円
【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン(1名あたり定価半額24,750円)】
※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。 会員登録について
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※その他の割引の併用はできません。

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料35,200円
 定価:本体32,000円+税3,200円
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

 なお、本システムのお申し込み時のカート画面では割引は表示されませんが、
上記条件を満たしていることを確認後、ご請求書またはクレジット等決済時等に
調整させて頂きます。

ポイント還元 誠に勝手ながら2020年4月1日より、会員割引は廃止とさせて頂きます。
当社では会員割引に代わり、会員の方にはポイントを差し上げます。
ポイントは、セミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
会員でない方はこちらから会員登録を行ってください。
配布資料 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
※セミナー資料はお申込み時のご住所へ発送させていただきます。
※開催日の4~5日前に発送いたします。

※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
オンライン配信

ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください)
・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。


■最近よくあるお問い合わせ■
1.受講中の、カメラのON/OFF、マイクのON/OFFについて。
  → カメラは任意です、カメラが付いていなくても受講できます(OFFで構いません)。
  → 講義中はマイクOFF(ミュート)にしてください。質疑応答は、音声/チャット どちらでも質問ができます。
2.他の受講者に、所属を知られたくない。
  → Zoom入室の際、会社名を入れる必要はありません。名字(出席確認のため)だけで結構です。
3.開催日までに振込み(入金)が間に合わない。
  → 受講後でも構いません。お申込み時に振込み予定日を記入いただくか、決まり次第のご連絡で構いません。
備 考 ※資料付 
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

本セミナーはサイエンス&テクノロジー株式会社が主催いたします。

講師

兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 所長・教授 渡邊 健夫 氏
<経歴・研究歴>
昭和61年 関西医科大学教養部物理学教室非常勤講師
平成 2年 大阪市立大学大学院理学研究科後期博士課程修了 理学博士
平成 2年 シャープ(株)中央研究所 DRAMの研究開発に従事
光リソグラフィー、電子線リソグラフィー、X線等倍露光、極端紫外線リソグラフィーの半導体微細加工の研究開発に従事
平成 8年 旧姫路工業大学高度産業科学技術研究所助手
      極端紫外線リソグラフィーの研究開発に従事
平成16年 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所助教
      極端紫外線リソグラフィーの研究開発に従事
平成20年 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所准教授
平成27年 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所教授
      同研究所極端紫外線リソグラフィー研究開発センター センター長
平成28年 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 所長・教授
<受賞歴>
1) 第7回日本物理学会論文賞, 渡邊健夫他、3月26日,2002.
2) Best Poster Award 1st Place, Takeo Watanabe, 2008 International Workshop on EUV Lithography, 2008.6.12.
3) Best Paper Award, Takeo Watanabe, 2013 International Workshop on EUV Lithography, 2013.6.14.
4) 大阪ニュークリアサイエンス協会賞, 渡邊健夫, 2016.5.26.
<国際学会の活動>
1) フォトポリマー国際会議(International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST).)、理事、国際局長、EUVL国際シンポジウム議長
2) フォトマスクジャパン(International Conference on Photomask Japan)、組織委員会委員長
3) International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN)、プログラム委員
4) nternational Roadmap for Device and System (IRDS), Lithography Committee member
<WebSite>
http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp


講演趣旨

 極端紫外線リソグラフィー(EUVL)技術は30年に開発期間を経て漸く7 nm nodeの半導体デバイスの量産に適用されました。しかしながら、5 nm nodeに向けて多くの課題を抱えています。
 EUVL技術の黎明期の基礎技術開発を紹介するとともに、最新技術開発の現状、課題への取り組み、並びに今後の半導体微細加工技術の展開についても詳説します。

※複数名で受講の際は、備考欄に受講される方の「氏名・部署名・メールアドレス」を
ご連絡ください。

(5/21)【Live配信(リアルタイム配信)】 リソグラフィ/EUVリソグラフィー技術の基礎、 最新技術動向と課題解決策および今後の展望

価格:

35,200円 (税込) 49,500円 (税込)

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講演内容

<得られる知識・技術>
 極端紫外線リソグラフィー技術について、EUV光源技術、多層膜技術、光学系技術、マスク技術、レジスト技術等基盤技術全般に亘り解説します。

<プログラム>
1.はじめに
 1.1 IoTおよびAIに期待すること
 1.2 半導体市場
 1.3 半導体国際ロードマップから読み取れること
 1.4 半導体微細加工技術の必要性
 1.5 今後の半導体技術動向と市場との関係
 1.6 今後の半導体技術に期待すること

2.リソグラフィー技術
 2.1 リソグラフィー技術の変遷
 2.2 黎明期のX線縮小露光技術からEUVリソグラフィー技術への展開
 2.3 EUVリソグラフィーとは?
   ~EUV光源、光学系、レジスト、マスク、露光機の概要~

3.兵庫県立大学でのEUVリソグラフィー技術開発の取り組み
 3.1 日本、米国のEUVLプロジェクトの変遷
 3.2 ニュースバル放射光施設の紹介

4.EUVリソグラフィー技術課題に対する取り組み
 4.1 レジスト材料プロセス技術
 4.2 マスク欠陥技術
 4.3 ペリクル技術
 4.4 EUV用光源技術

5.Beyond EUV(EUVリソグラフィーの短波長化)の可能性

6.日本の半導体技術の過去、現在、今後
  ~日本の半導体技術の覇権に重要な要素~

7.まとめ

  □質疑応答□

留意事項

※書籍・セミナー・イーラーニングBOOKのご注文に関しましては株式会社イーコンプレスが担当いたします。

当社ホームページからお申込みいただきますと、サイエンス&テクノロジー株式会社から受講券および会場案内等をご指定の住所に送付いたします。
また、お申込の際は、事前に会員登録をしていただきますとポイントが付与され、ポイントはセミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
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銀行振り込みを選択された場合は、貴社お支払い規定(例:翌月末までにお振込み)に従い、お振込みをお願いいたします。
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個人情報等に関しましては、セミナーご参加目的に限り、当社からサイエンス&テクノロジー株式会社へ転送いたします。

お見積書や領収書が必要な場合もお申し付けください。
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1.銀行振り込み
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4.楽天ID決済

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5.コンビニ決済

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  1. 同一法人割引き(2名同時申込みキャンペーン)で、「2名で参加」または「3名で参加」を選択してください。
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