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(10/31)プラズマエッチングにおける プラズマダメージの発生機構と制御

プラズマエッチングにおける
プラズマダメージの発生機構と制御



歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージ。
その制御のために必要な知識を、プラズマエッチングの基礎から解説します。

日 時 2018年10月31日(水)  13:00〜16:30
会 場 東京・品川区大井町 きゅりあん  4F  第1グループ活動室  会場地図
講 師 京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 ​教授 博士(工学) 江利口 浩二 氏
専門:プラズマ工学,電子デバイス工学,信頼性物理学
【講師詳細はこちら】
受講料(税込) 43,200円  (会員受講料41,040円)  会員登録について
定価:本体40,000円+税3,200円
会員:本体38,000円+税3,040円
【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン(1名あたり定価半額21,600円)】
※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※会員割引やその他の割引の併用はできません。

 なお、本システムのお申し込み時のカート画面では割引は表示されませんが、
上記条件を満たしていることを確認後、ご請求書またはクレジット等決済時等に
調整させて頂きます。

備 考※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。
得られる知識 ・デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
・プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識
対 象 企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方,プロセス設計に従事されている方,デバイス信頼性評価に従事されている方など.(主にプロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方)

予備知識について:大学で理系科目を習得していれば特に問題ありません。
 <講師より>
企業,大学での勤務経験をもとに,何が大切か?を伝えたいと思います。


講演趣旨

 現在,超微細半導体デバイスをはじめ,さまざまなデバイス製造において,プラズマプロセスは重要な役割を担っている.例えば,プラズマエッチングにおいては,想定外のプラズマとデバイス(固体)との相互作用が,デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす.この
現象は,プラズマ誘起ダメージと呼ばれ,製造装置設計,プロセス設計,デバイス設計,回路設計において大きな問題となっている.それら現象の基礎的理解は,研究開発のみならず,生産現場でのプロセス管理においても重要である.しかしながら,一般の専門書だけでは,最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し,制御することは困難である.
 本講座では,近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として,プラズマ誘起ダメージをとりあげる.近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や,デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル,材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル,およびその制御について議論する.

※複数名で受講の際は、備考欄に受講される方の「氏名・部署名・メールアドレス」を
ご連絡ください。

(10/31)プラズマエッチングにおける プラズマダメージの発生機構と制御

価格:

43,200円 (税込)

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講演内容

1.プラズマとは
 1.1 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
 1.2 プラズマを理解するためのパラメータ
 
2.プラズマエッチングとは
 2.1 超微細半導体デバイスの歴史(加工技術を中心に)
 2.2 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
 2.3 プラズマエッチングの基礎(反応表面の構造について)
 
3.プラズマエッチングにおける技術課題について
 3.1 加工形状異常に代表される課題例
 3.2 新しい課題〜プラズマ誘起ダメージ
 
4.プラズマ誘起ダメージについて
 4.1 3つのダメージ発生機構
 4.2 プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
 4.3 イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
 4.4 デバイス劣化モデル
 4.5 3次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構
 
5.今後の展望〜何がわかっていて,何がわからないのか?
 5.1 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
 5.2 プラズマ誘起ダメージを制御(最適化?)する
 5.3 プラズマ誘起ダメージはどうなるのか?

 □質疑応答・名刺交換□

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