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(4/28)【Live配信(リアルタイム配信)】 プラズマエッチングにおける プラズマダメージの発生メカニズムと制御

【Live配信(リアルタイム配信)】
プラズマエッチングにおける
プラズマダメージの発生メカニズムと制御


~3次元構造における新しいプラズマダメージ機構や最新動向についても解説~

本セミナーは、【Live配信】のみの開催です。
※会場開催はございません。

歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージ。
その現象を理解し制御するために必要な知識を、最新動向を含めて解説します。


日 時 2021年4月28日(水)  13:00~16:30
会 場 Live配信セミナー(リアルタイム配信) ※会社・自宅にいながら学習可能です※   
受講料(税込) 44,000円 
定価:本体40,000円+税4,000円
【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン(1名あたり定価半額22,000円)】
※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。 会員登録について
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※その他の割引の併用はできません。

テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料35,200円 定価:本体32,000円+税3,200円
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

 なお、本システムのお申し込み時のカート画面では割引は表示されませんが、
上記条件を満たしていることを確認後、ご請求書またはクレジット等決済時等に
調整させて頂きます。

ポイント還元 誠に勝手ながら2020年4月1日より、会員割引は廃止とさせて頂きます。
当社では会員割引に代わり、会員の方にはポイントを差し上げます。
ポイントは、セミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
会員でない方はこちらから会員登録を行ってください。
配布資料電子媒体(PDFデータ/印刷可)
・弊社HPのマイページよりダウンロードいただきます。
・開催2日前を目安に、ダウンロード可となります。
・ダウンロードには会員登録(無料)が必要となります。

オンライン配信 ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください)
備 考※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

本セミナーはサイエンス&テクノロジー株式会社が主催いたします。
得られる知識・デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
・プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識
対 象企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方、プロセス設計に従事されている方,デバイス信頼性評価に従事されている方など。(主にプロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方)
予備知識について:大学で理系科目を習得していれば特に問題ありません。
企業,大学での勤務経験をもとに,何が大切か?を伝えたいと思います。

講師

京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 教授 博士(工学) 江利口 浩二 氏
専門:プラズマ工学,電子デバイス工学,信頼性物理学
講師詳細はこちら


講演趣旨

 現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス(固体)との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
 本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。

※複数名で受講の際は、備考欄に受講される方の「氏名・部署名・メールアドレス」を
ご連絡ください。

(4/28)【Live配信(リアルタイム配信)】 プラズマエッチングにおける プラズマダメージの発生メカニズムと制御

価格:

35,200円 (税込) 44,000円 (税込)

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44,000円 (税込)

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35,200円 (税込)

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講演内容

1.プラズマとは
 1.1 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
 1.2 プラズマを理解するためのパラメータ
 
2.プラズマエッチングとは
 2.1 超微細半導体デバイスの歴史(加工技術を中心に)
 2.2 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
 2.3 プラズマエッチングの基礎(反応表面の構造について)
 
3.プラズマエッチングにおける技術課題について
 3.1 加工形状異常に代表される課題例
 3.2 新しい課題~プラズマ誘起ダメージ
 
4.プラズマ誘起ダメージについて
 4.1 3つのダメージ発生機構
 4.2 プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
 4.3 イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
 4.4 デバイス劣化モデル
 4.5 3次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構
 
5.今後の展望~何がわかっていて、何がわからないのか?
 5.1 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
 5.2 プラズマ誘起ダメージを制御(最適化?)する
 5.3 プラズマ誘起ダメージはどうなるのか?

 □質疑応答□

留意事項

※書籍・セミナー・イーラーニングBOOKのご注文に関しましては株式会社イーコンプレスが担当いたします。

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