真空成膜技術の基礎と
機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング
その成膜トラブル・不良は「成膜装置」に対する理解不足が原因ではありませんか？
受講可能な形式：【ライブ配信（見逃し配信付）】
真空・成膜技術の原理から、ガス・汚染・パーティクル、装置の運転・保守に関する知識までを見直して、
根本的なトラブル・失敗から卒業しよう！
【キーワード】安全性と信頼性の向上、基礎の無理解が起こすトラブルと事故、 絶対ガッカリさせない質疑への回答
根本的なトラブル・失敗から卒業しよう！
【キーワード】安全性と信頼性の向上、基礎の無理解が起こすトラブルと事故、 絶対ガッカリさせない質疑への回答
【得られる知識】
・成膜手段を問わず「普段、トラブルが多い」「歩留まりが低い」「そうなる原因も理屈も理解できない」等々で困っている場合は、ズバリその悩みを解決できます。
| 日 時 | 【ライブ配信】 2026年11月19日（木） 10:00～17:00 | |
|---|---|---|
| 受講料(税込) | 60,500円 定価：本体55,000円＋税5,500円 【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン（2名で60,500円／1名あたり30,250円＝定価の半額）】 ※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。 2名様以降の受講者は、申込み前に会員登録をお済ませください。 ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。 ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。 ※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。 ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。 (申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。) ※他の割引は併用できません。 ※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 1名申込みの場合：受講料 定価：48,400円 定価：本体44,000円＋税4,400円 ※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 | |
| ポイント還元 | 誠に勝手ながら2020年4月1日より、会員割引は廃止とさせて頂きます。 当社では会員割引に代わり、会員の方にはポイントを差し上げます。 ポイントは、セミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。 会員でない方はこちらから会員登録を行ってください。 | |
| 配布資料 | Live配信受講：PDFテキスト(印刷可・編集不可) ※セミナー資料は、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードいただきます。 (開催2日前を目安に、ダウンロード可となります) ※ダウンロードには、会員登録（無料）が必要となります。 | |
| オンライン配信 | 【Live配信の視聴方法】 【ライブ配信（Zoom使用）セミナー】 ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 ・ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください） 【テキスト】 テキストは、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードできます。 (開催2日前を目安に、ダウンロード可となります) 【マイページ】 ID(E-Mailアドレス)とパスワードをいれログインしてください。 >> ログイン画面 | |
| 特 典 | ライブ配信受講に加えて、見逃し配信でも以下期間中に視聴できます 【見逃し配信の視聴期間】2026年11月20日(金)PM～11月27日(金)まで ※このセミナーは見逃し配信付です。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。 ※ライブ配信を欠席し見逃し配信の視聴のみの受講も可能です。 ※見逃し配信は原則として編集は行いません。 ※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のご連絡をいたします。 | |
| 備 考 | 資料 付 ※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 本セミナーはサイエンス＆テクノロジー株式会社が主催いたします。 | |
セミナー講師
大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 応用超伝導加速器センター 協力研究員工学博士 加藤 茂樹 氏
【専門】真空工学 (特に超・極高真空、加速器真空)、 原子層成長法等薄膜工学、プラズマ工学、表面物理学、表面分析学、超伝導加速空洞工学、ナノ工学、電子源等量子ビーム工学
【その他経歴・活動】マックスプランク研勤務、理研プラズマ物理研勤務、大学院生教育、受託研究、真空関連装置やウルトラクリーンバキュームの設計・製作コンサルタント
セミナー趣旨
成膜技術は社会インフラを変え、人々の日常生活に大きな恩恵を与えているだけでなく、科学技術そのものの発展を加速し続けている。しかし、その広範で高度な技術がために、同じ成膜技術者であっても、少し手法や製品が変わるとその原理や特性についてまったく知らないことが多い。また、自ら扱っている装置であっても、表面上の付き合いに留まり、機器をブラックボックス化して、日常の運転・保守を続けていることが多い。しかし、このような日常にこそ、トラブルと事故の遠因が潜んでいる。この講義では、真空環境を使った各種成膜装置の背景にある物理を基礎から再認識してもらい、後半では薄膜作成におけるトラブルと失敗をその対策とともに紹介する。
１．基礎の無理解とブラックボックス化が起こす成膜絡みの大事故！
1.1 成膜作業が絡む大事故例
1.2 リスクマネジメントとハインリッヒの法則
２．成膜と真空の密な関係
2.1 成膜は目的、良い真空はその手段の１つ
2.2 何故、良い成膜に良い真空が必要なのか？
2.3 そもそも良い真空とはどんなものか？
2.4 成膜室の真空が良いだけでは良い膜ができない!!
３．無駄なトラブルと事故を避けるため、成膜に関連が深い真空工学をちょこっと復習！
3.1 気体分子運動論と気体の性質
3.2 気体の流れと真空排気
3.3 真空排気の理想と現実
４．これだけは押さえたい、２時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ!!
4.1 成膜のおける重要な鍵
4.2 原料物質(粒子)への作用エネルギーの大きさで分類する成膜方法
4.3 成膜の素過程
4.4 スパッタリングを少し深く理解してみよう
4.5 反応性スパッタは本当にPVDの1つとして良い？
沢山あり過ぎ混沌とする成膜法の分類
4.6 原料粒子への作用エネルギーで分類を再定義
4.7 薄膜の育ち方とその条件
4.8 こんなにある薄膜の評価法
５．成膜装置におけるトラブル事例と解決法
5.1 デタラメな機械加工や接合にダマされるな
5.2 不純物と維持費抑制に必須な装置内面の表面処理や表面改質
5.3 絶対避けたい擬似リーク
5.4 オイルフリー排気系の落とし穴
5.5 成膜法に依っては必須のベーキング
5.6 吸っても安全な成膜原料ガスは１つもない！
5.7 成膜にまつわるモノ（素材、部品、装置等）に素手で触れるのはどれだけの悪さなのか？
5.8 パーティクルはどこからどう生まれる？
5.9 成膜中、陰で進行している汚染ガス放出とパーティクルの生成
5.10 圧力測定には全圧計だけでは不十分！
残留ガス質量分析計（プロセスガスモニタ）が解決する膜作り
5.11 大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪
5.12 成膜真空容器に鎧を付けよう
5.13 汚染を引き起こさない真空成膜装置の正しい扱い方
6．最近話題の成膜法（HiPIMSやSpatial ALD等）
7．まとめと質疑応答
1.1 成膜作業が絡む大事故例
1.2 リスクマネジメントとハインリッヒの法則
２．成膜と真空の密な関係
2.1 成膜は目的、良い真空はその手段の１つ
2.2 何故、良い成膜に良い真空が必要なのか？
2.3 そもそも良い真空とはどんなものか？
2.4 成膜室の真空が良いだけでは良い膜ができない!!
３．無駄なトラブルと事故を避けるため、成膜に関連が深い真空工学をちょこっと復習！
3.1 気体分子運動論と気体の性質
3.2 気体の流れと真空排気
3.3 真空排気の理想と現実
４．これだけは押さえたい、２時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ!!
4.1 成膜のおける重要な鍵
4.2 原料物質(粒子)への作用エネルギーの大きさで分類する成膜方法
4.3 成膜の素過程
4.4 スパッタリングを少し深く理解してみよう
4.5 反応性スパッタは本当にPVDの1つとして良い？
沢山あり過ぎ混沌とする成膜法の分類
4.6 原料粒子への作用エネルギーで分類を再定義
4.7 薄膜の育ち方とその条件
4.8 こんなにある薄膜の評価法
５．成膜装置におけるトラブル事例と解決法
5.1 デタラメな機械加工や接合にダマされるな
5.2 不純物と維持費抑制に必須な装置内面の表面処理や表面改質
5.3 絶対避けたい擬似リーク
5.4 オイルフリー排気系の落とし穴
5.5 成膜法に依っては必須のベーキング
5.6 吸っても安全な成膜原料ガスは１つもない！
5.7 成膜にまつわるモノ（素材、部品、装置等）に素手で触れるのはどれだけの悪さなのか？
5.8 パーティクルはどこからどう生まれる？
5.9 成膜中、陰で進行している汚染ガス放出とパーティクルの生成
5.10 圧力測定には全圧計だけでは不十分！
残留ガス質量分析計（プロセスガスモニタ）が解決する膜作り
5.11 大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪
5.12 成膜真空容器に鎧を付けよう
5.13 汚染を引き起こさない真空成膜装置の正しい扱い方
6．最近話題の成膜法（HiPIMSやSpatial ALD等）
7．まとめと質疑応答
※書籍・セミナー・手順書のご注文に関しましては株式会社イーコンプレスが担当いたします。
当社ホームページからお申込みいただきますと、サイエンス＆テクノロジー株式会社より、お申込み時にご入力いただきましたメールアドレスにご視聴方法のご案内をお送りいたします。
また、お申込の際は、事前に会員登録をしていただきますとポイントが付与され、ポイントはセミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
会員登録はこちら
ご請求書（PDF）は、弊社よりお申込み時にご入力いただきましたメールアドレスに添付しお送りいたします。
銀行振り込みを選択された場合は、貴社お支払い規定（例：翌月末までにお振込み）に従い、お振込みをお願いいたします。
恐れ入りますが、振り込み手数料はご負担くださいますようお願いいたします。
個人情報等に関しましては、セミナーご参加目的に限り、当社からサイエンス＆テクノロジー株式会社へ転送いたします。
お見積書や領収書が必要な場合もお申し付けください。
ご要望・ご質問・お問合せはこちら
当社ホームページからお申込みいただきますと、サイエンス＆テクノロジー株式会社より、お申込み時にご入力いただきましたメールアドレスにご視聴方法のご案内をお送りいたします。
また、お申込の際は、事前に会員登録をしていただきますとポイントが付与され、ポイントはセミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
会員登録はこちら
ご請求書（PDF）は、弊社よりお申込み時にご入力いただきましたメールアドレスに添付しお送りいたします。
銀行振り込みを選択された場合は、貴社お支払い規定（例：翌月末までにお振込み）に従い、お振込みをお願いいたします。
恐れ入りますが、振り込み手数料はご負担くださいますようお願いいたします。
個人情報等に関しましては、セミナーご参加目的に限り、当社からサイエンス＆テクノロジー株式会社へ転送いたします。
お見積書や領収書が必要な場合もお申し付けください。
ご要望・ご質問・お問合せはこちら
【お支払方法について】
以下のお支払方法がご利用いただけます。
１．銀行振り込み
以下のお支払方法がご利用いただけます。
１．銀行振り込み
２．クレジットカード
ご請求書は電子（.pdf）にて別途送付しますので、貴社お支払い規定に従い、お振込みをお願いします。
恐れ入りますが、振り込み手数料はご負担くださいますようお願いします。
（セミナー当日までにお振込頂く必要はございません。）
３．ＰａｙＰａｙ
４．楽天ペイ（オンライン決済）
５．楽天銀行決済
６．コンビニ決済
【領収書について】
領収書はマイページからご自身で発行できます。
・新規会員登録はこちらから領収書の発行時期に関するご注意
領収書の発行は、決済方法により取り扱いが異なります。
・クレジット／ネット決済：各クレジットカード会社・ネット決済会社の承認後に発行可能
・銀行振込／コンビニ決済：通常、弊社からの領収書の自動発行は行っておりません。適格請求書は別途PDFにて発行します。
（※コンビニ決済の払込票・受領証は、決済代行会社が発行するものとなります。）
弊社名義の領収書をご希望の場合は、お手数ですがお支払い後にお問い合わせフォームよりご連絡ください。確認でき次第、発行いたします。
※発行手続きは営業日対応のため、土日祝日は翌営業日以降となります。
