HBM・チップレット時代の3D積層技術と先進パッケージの最新動向
～TSV・Hybrid Bonding・CoWoS・Foveros・FO-WLPから市場動向まで徹底解説～
～「多層配線/2.5D・3Dデバイス」2日間セミナー2日目～
受講可能な形式：【ライブ配信（アーカイブ配信付）】or【アーカイブ配信】
半導体の微細化限界が近づく中、性能向上の鍵として2.5D/3D集積化やチップレット技術への注目が高まっています。
本セミナーでは、TSVによる3次元積層技術、HBMや3D-NANDの実装技術、Hybrid Bonding、CoWoS、Foverosなどの先進パッケージ技術を解説します。さらに、TSMC・Intel・Samsungの最新動向や、チップレットエコシステム、高周波対応材料、ガラス基板の開発動向まで含め、次世代半導体集積技術の方向性を俯瞰し解説します。
本ページは9/2,9/9「多層配線/2.5D・3Dデバイス」2日間セミナー 2日目のみの申込みページです。
※2日間セミナーの詳細：申し込みはこちら※
9月2日(水)・9月9日(水)「
先端半導体デバイスの多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化【2日間セミナー】
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■9月2日(水)13:00～17:00「
微細Cu配線・Low?k材料・BS?PDNに見る 先端多層配線技術
」■
本セミナーでは、TSVによる3次元積層技術、HBMや3D-NANDの実装技術、Hybrid Bonding、CoWoS、Foverosなどの先進パッケージ技術を解説します。さらに、TSMC・Intel・Samsungの最新動向や、チップレットエコシステム、高周波対応材料、ガラス基板の開発動向まで含め、次世代半導体集積技術の方向性を俯瞰し解説します。
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先端半導体デバイスの多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化【2日間セミナー】
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微細Cu配線・Low?k材料・BS?PDNに見る 先端多層配線技術
」■
| 日 時 | 【ライブ配信】 2026年9月9日（水） 13:00～17:00 | |
|---|---|---|
| 受講料(税込) | 49,500円 定価：本体45,000円＋税4,500円 【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン（１名あたり定価半額の49,500円）】 ※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。 2名様以降の受講者は、申込み前に会員登録をお済ませください。 ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。 ※3名様以上のお申込みの場合、上記１名あたりの金額で受講できます。 ※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。 ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。 (申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。) ※他の割引は併用できません。 ※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 1名申込みの場合：受講料 定価：39,600円 定価：本体36,000円＋税3,600円 ※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 | |
| ポイント還元 | 誠に勝手ながら2020年4月1日より、会員割引は廃止とさせて頂きます。 当社では会員割引に代わり、会員の方にはポイントを差し上げます。 ポイントは、セミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。 会員でない方はこちらから会員登録を行ってください。 | |
| 配布資料 | Live配信受講：PDFテキスト(印刷可・編集不可) アーカイブ配信：PDFテキスト（印刷可・編集不可） ※セミナー資料は、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードいただきます。 (開催前日を目安に、ダウンロード可となります) ※アーカイブ配信受講の場合は、配信日にマイページよりダウンロード可。 ※ダウンロードには、会員登録（無料）が必要となります。 | |
| オンライン配信 | 【Live配信の視聴方法】 【ライブ配信（Zoom使用）セミナー】 ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 ・ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください） ・アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください） 【テキスト】 テキストは、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードできます。 (開催前日を目安に、ダウンロード可となります) 【マイページ】 ID(E-Mailアドレス)とパスワードをいれログインしてください。 >> ログイン画面 | |
| 備 考 | 資料 付 ※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 本セミナーはサイエンス＆テクノロジー株式会社が主催いたします。 | |
セミナー講師
名古屋大学 未来社会創造機構 客員教授 兼 技術コンサルタント(半導体分野)元 (株)東芝 研究開発センター 首席技監
柴田 英毅 氏
【専門】
半導体デバイス・プロセス技術 ／ 半導体集積回路技術 ／ 多層配線形成技術 ／ 三次元デバイス集積化技術
MEMS技術 ／ 光伝送技術 ／ 材料強度学 ／ 金属疲労学 固体物理学 ／ 薄膜材料物性学
【所属学会・業界での活動】
JEITA STRJ (半導体技術ロードマップ専門委員会) 配線WG委員長
ITRS国際半導体技術Roadmap Interconnect-TWG(Co-Chair)
Selete研究運営委員及び先端コアBEPプログラム委員
半導体MIRAIプロジェクト/Selete-NSI (Nano. Silicon Integration) 技術委員
応用物理学会 集積化MEMS技術研究会副委員長
SSDM組織委員、SIRIJ業界戦略委員、COCN(産業競争力懇談会)Proj.S委員会委員
内閣府FIRST/ImPACT/SIPの東芝側実用化・事業化責任者、他多数
【著書、論文、特許】
・ロジックLSI技術の革新(培風館)
・半導体プロセス技術(培風館)
・応用物理ハンドブック(丸善)
・Cu配線技術の最新の展開(サイペック)
・異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(シーエムシー出版)
・審査付き学術論文及び主要国際学会での論文発表：計91件
・国内学会・セミナー・学術専門委員会等での講演：計70回
・登録特許数：計73件
【受賞歴】
日刊工業新聞社十大新製品賞
IEEE IITC2005 Best Paper Award受賞
IMAPS2009 Best Paper Award受賞
ADMETA2009 Best Paper Award受賞
ADMETA2012 Best Paper Award、Technical Achievement Award受賞
社長特別表彰 (功績賞)
電気学会センサ・マイクロマシン部門「優秀技術論文賞」
【「多層配線/2.5D・3Dデバイス2日間」2日間セミナー 2日目：2026年9月9日(水) 13:00～17:00】
5．微細化の物理限界と2.5D/3Dデバイス集積化によるMooreの法則の継続・発展
6．メモリデバイスの3D集積化(TSV/チップ積層)技術の基礎～最新動向
6.1 Si貫通孔(TSV)によるデバイス集積化のメリット
6.2 TSVを用いた3次元チップ積層の実例1(DRAM/HBM)
6.3 TSVを用いた3次元チップ積層の実例2(NAND/SSD)
6.4 TSVを用いた3次元チップ積層構造における発熱問題とアンダーフィル材の熱抵抗低減技術
6.5 大容量HBMにおける積層化プロセスロードマップ
(チップ積層(CoC)⇒ウエハ積層(WoW、WoW&CoW、CoW))
７．メモリデバイスの3D積層化(Hybrid Bondingによるウエハ貼合)技術の基礎～最新動向
7.1 3D-NAND製造におけるウエハレベル貼合方式(Xtacking、CBA)の概要
7.2 ウエハレベル貼合技術の種類と比較、有力候補(PAB)
7.3 ウエハレベル貼合技術の課題と対策(貼合の低温化、貼合前平坦化、ベベル制御)
８．チップレット技術による2.5D/3Dデバイス集積化の基礎～最新動向
8.1 各種チップレット技術(CoWoS、InFO、EMIB、Foverosなど)の概要と特徴
8.2 TSMC、Intel、Samsungのチップレット技術の詳細とデバイス適用事例
8.3 各社のチップレット技術の整理と業界団体「UCIe」の設立
8.4 国内のコンソーシアム設立の動き(「PSB」、「BB Cube 3D」、「ASRA」、「SATAS」)
8.5 ウエハレベルパッケージ(FO-WLP)技術の特長と変遷、代表的なプロセス
8.6 FO-WLPとPLPの使い分け、FO-PLPの要求仕様
8.7 FO-PLPにおける微細再配線(RDL)の低コスト形成プロセスの候補
９．5G世代以降のための高周波対応低伝送損失材料の要求と有力材料の最新動向
9.1 5G以降の高周波対応低伝送損失絶縁材料の候補
9.2 パッケージ基板の最新開発動向(樹脂・シリコン基板/TSV⇒SiO2・ガラス基板/TGV(TDV)
１０．CoC、CoW、WoWの主要アプリとPros/Cons、先進PKG技術のロードマップと市場動向
１１．ウエハ裏面への電源供給配線網(BS-PDN、PowerVia、SPR)の形成技術の最新動向
11.1 ウエハ裏面への電源供給配線網(BS-PDN)形成の経緯・背景と特徴、課題
11.2 埋め込み電源線(BPR)と裏面の電源供給配線網(BS-PDN)の接続形態と構造
11.3 BS-PDNを形成するための貼合プロセス例と接続断面構造
11.4 BS-PDNによる回路ブロック面積及びIRドロップの低減効果
11.5 IntelによるPowerViaの概要と特徴、テストチップの評価結果、20A世代からの採用計画
11.6 TSMCもA16世代からSPRを採用へ、Samsungも2nm世代(SF2Z)からBSPDNを採用へ
１２．統括
□ 質疑応答 □
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9月2日(水)・9月9日(水)「先端半導体デバイスの多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化【2日間セミナー】」
5．微細化の物理限界と2.5D/3Dデバイス集積化によるMooreの法則の継続・発展
6．メモリデバイスの3D集積化(TSV/チップ積層)技術の基礎～最新動向
6.1 Si貫通孔(TSV)によるデバイス集積化のメリット
6.2 TSVを用いた3次元チップ積層の実例1(DRAM/HBM)
6.3 TSVを用いた3次元チップ積層の実例2(NAND/SSD)
6.4 TSVを用いた3次元チップ積層構造における発熱問題とアンダーフィル材の熱抵抗低減技術
6.5 大容量HBMにおける積層化プロセスロードマップ
(チップ積層(CoC)⇒ウエハ積層(WoW、WoW&CoW、CoW))
７．メモリデバイスの3D積層化(Hybrid Bondingによるウエハ貼合)技術の基礎～最新動向
7.1 3D-NAND製造におけるウエハレベル貼合方式(Xtacking、CBA)の概要
7.2 ウエハレベル貼合技術の種類と比較、有力候補(PAB)
7.3 ウエハレベル貼合技術の課題と対策(貼合の低温化、貼合前平坦化、ベベル制御)
８．チップレット技術による2.5D/3Dデバイス集積化の基礎～最新動向
8.1 各種チップレット技術(CoWoS、InFO、EMIB、Foverosなど)の概要と特徴
8.2 TSMC、Intel、Samsungのチップレット技術の詳細とデバイス適用事例
8.3 各社のチップレット技術の整理と業界団体「UCIe」の設立
8.4 国内のコンソーシアム設立の動き(「PSB」、「BB Cube 3D」、「ASRA」、「SATAS」)
8.5 ウエハレベルパッケージ(FO-WLP)技術の特長と変遷、代表的なプロセス
8.6 FO-WLPとPLPの使い分け、FO-PLPの要求仕様
8.7 FO-PLPにおける微細再配線(RDL)の低コスト形成プロセスの候補
９．5G世代以降のための高周波対応低伝送損失材料の要求と有力材料の最新動向
9.1 5G以降の高周波対応低伝送損失絶縁材料の候補
9.2 パッケージ基板の最新開発動向(樹脂・シリコン基板/TSV⇒SiO2・ガラス基板/TGV(TDV)
１０．CoC、CoW、WoWの主要アプリとPros/Cons、先進PKG技術のロードマップと市場動向
１１．ウエハ裏面への電源供給配線網(BS-PDN、PowerVia、SPR)の形成技術の最新動向
11.1 ウエハ裏面への電源供給配線網(BS-PDN)形成の経緯・背景と特徴、課題
11.2 埋め込み電源線(BPR)と裏面の電源供給配線網(BS-PDN)の接続形態と構造
11.3 BS-PDNを形成するための貼合プロセス例と接続断面構造
11.4 BS-PDNによる回路ブロック面積及びIRドロップの低減効果
11.5 IntelによるPowerViaの概要と特徴、テストチップの評価結果、20A世代からの採用計画
11.6 TSMCもA16世代からSPRを採用へ、Samsungも2nm世代(SF2Z)からBSPDNを採用へ
１２．統括
□ 質疑応答 □
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当社ホームページからお申込みいただきますと、サイエンス＆テクノロジー株式会社より、お申込み時にご入力いただきましたメールアドレスにご視聴方法のご案内をお送りいたします。
また、お申込の際は、事前に会員登録をしていただきますとポイントが付与され、ポイントはセミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
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個人情報等に関しましては、セミナーご参加目的に限り、当社からサイエンス＆テクノロジー株式会社へ転送いたします。
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