薄膜作製の基礎と薄膜評価・トラブル対策
スパッタ法、真空蒸着法、CVD法の原理やそれぞれの膜の特徴、作製した薄膜の評価方法 等など…狙った特性を有する薄膜を得るための薄膜作製プロセス設計の基礎的かつ系統的な知識を解説
受講可能な形式：【ライブ配信（見逃し配信付）】
| 日 時 | 【ライブ配信】 2026年11月18日（水） 10:30～16:30 | |
|---|---|---|
| 受講料(税込) | 55,000円 定価：本体50,000円＋税5,000円 【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン（2名で55,000円／1名あたり27,500円＝定価の半額）】 ※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。 2名様以降の受講者は、申込み前に会員登録をお済ませください。 ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。 ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。 ※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。 ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。 (申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。) ※他の割引は併用できません。 ※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 1名申込みの場合：受講料 定価：44,000円 定価：本体40,000円＋税4,000円 ※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 | |
| ポイント還元 | 誠に勝手ながら2020年4月1日より、会員割引は廃止とさせて頂きます。 当社では会員割引に代わり、会員の方にはポイントを差し上げます。 ポイントは、セミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。 会員でない方はこちらから会員登録を行ってください。 | |
| 配布資料 | Live配信受講：PDFテキスト(印刷可・編集不可) ※セミナー資料は、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードいただきます。 (開催2日前を目安に、ダウンロード可となります) ※ダウンロードには、会員登録（無料）が必要となります。 | |
| オンライン配信 | 【Live配信の視聴方法】 【ライブ配信（Zoom使用）セミナー】 ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 ・ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください） 【テキスト】 テキストは、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードできます。 (開催2日前を目安に、ダウンロード可となります) 【マイページ】 ID(E-Mailアドレス)とパスワードをいれログインしてください。 >> ログイン画面 | |
| 特 典 | ■ライブ配信受講に加えて、見逃し配信(アーカイブ)でも１週間視聴できます■ 【見逃し配信の視聴期間(予定)】2026年11月19日(木)～11月26日(木)まで ※このセミナーは見逃し配信付です。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。 【見逃し配信(アーカイブ)について 【 ライブ配信受講を欠席し、見逃し配信視聴のみの受講も可能です。 】 ※視聴期間は終了翌日から7日間を予定しています。また録画データは原則として編集は行いません。 ※マイページからZoomの録画視聴用リンクにてご視聴いただきます。 | |
| 備 考 | 資料 付 ※講義の録画・録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 本セミナーはサイエンス＆テクノロジー株式会社が主催いたします。 | |
セミナー講師
三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 教授 佐藤 英樹 氏[略歴]
1996～2000 アネルバ株式会社（現 キヤノンアネルバ株式会社） 半導体装置事業部 技術担当
2000～2007 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 助手
2002～2003 米国ノースカロライナ大学チャペルヒル校 客員研究員
2007～2022 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 准教授
2023～現在 同 教授
セミナー趣旨
薄膜技術は、電子デバイス、太陽電池、建材 、食品産業と、さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では高性能で使いやすい薄膜作製装置が市販されており 、昔よりも容易に薄膜作製が行えるようになりました。しかしながら、適切な薄膜作製のためには 、薄膜技術に関する知識が必要なのは今も昔も変わりません。新規の条件で成膜を行う場合 、必要な特性を有する薄膜を得るためには各種薄膜作製が膜質におよぼす影響を考慮しつつ 、条件を選択する必要があります。また 、薄膜作製プロセスで遭遇する種々のトラブルを解決するためには 、その原因を分析し 、適切に対処すること求められます。そのようなときに必要になるのが 、薄膜作製技術に関する基本的かつ系統的な知識です。本講座では 、薄膜技術に携わる初級～中級の技術者の方々を対象に 、薄膜技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し 、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。
１．薄膜技術のための基礎知識
1.1 真空工学
1.2 表面物性工学
1.3 プラズマ工学
２．物理気相成長（PVD）法
2.1 真空蒸着法
a.原理
b.真空蒸着法の種類
c.真空蒸着法の留意事項
2.2 スパッタ法
a.原理
b.スパッタ法の種類
c.スパッタ法で作製される薄膜の特徴
d.スパッタ法の留意事項
３．化学気相成長（CVD）法
3.1 原理
3.2 化学気相成長法の種類
3.3 化学気相成長法で作製される薄膜の特徴
3.4 化学気相成長法の留意事項
４．薄膜評価法
4.1 形態観察
4.2 膜組成、膜構造分析
4.3 付着力、膜応力測定
4.4 電気的特性、光学的特性測定
５．薄膜作製プロセスで遭遇するさまざまなトラブルと解決策
5.1 膜質に関するトラブル
5.2 装置に関するトラブル
□ 質疑応答 □
1.1 真空工学
1.2 表面物性工学
1.3 プラズマ工学
２．物理気相成長（PVD）法
2.1 真空蒸着法
a.原理
b.真空蒸着法の種類
c.真空蒸着法の留意事項
2.2 スパッタ法
a.原理
b.スパッタ法の種類
c.スパッタ法で作製される薄膜の特徴
d.スパッタ法の留意事項
３．化学気相成長（CVD）法
3.1 原理
3.2 化学気相成長法の種類
3.3 化学気相成長法で作製される薄膜の特徴
3.4 化学気相成長法の留意事項
４．薄膜評価法
4.1 形態観察
4.2 膜組成、膜構造分析
4.3 付着力、膜応力測定
4.4 電気的特性、光学的特性測定
５．薄膜作製プロセスで遭遇するさまざまなトラブルと解決策
5.1 膜質に関するトラブル
5.2 装置に関するトラブル
□ 質疑応答 □
※書籍・セミナー・手順書のご注文に関しましては株式会社イーコンプレスが担当いたします。
当社ホームページからお申込みいただきますと、サイエンス＆テクノロジー株式会社より、お申込み時にご入力いただきましたメールアドレスにご視聴方法のご案内をお送りいたします。
また、お申込の際は、事前に会員登録をしていただきますとポイントが付与され、ポイントはセミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
会員登録はこちら
ご請求書（PDF）は、弊社よりお申込み時にご入力いただきましたメールアドレスに添付しお送りいたします。
銀行振り込みを選択された場合は、貴社お支払い規定（例：翌月末までにお振込み）に従い、お振込みをお願いいたします。
恐れ入りますが、振り込み手数料はご負担くださいますようお願いいたします。
個人情報等に関しましては、セミナーご参加目的に限り、当社からサイエンス＆テクノロジー株式会社へ転送いたします。
お見積書や領収書が必要な場合もお申し付けください。
ご要望・ご質問・お問合せはこちら
当社ホームページからお申込みいただきますと、サイエンス＆テクノロジー株式会社より、お申込み時にご入力いただきましたメールアドレスにご視聴方法のご案内をお送りいたします。
また、お申込の際は、事前に会員登録をしていただきますとポイントが付与され、ポイントはセミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。
会員登録はこちら
ご請求書（PDF）は、弊社よりお申込み時にご入力いただきましたメールアドレスに添付しお送りいたします。
銀行振り込みを選択された場合は、貴社お支払い規定（例：翌月末までにお振込み）に従い、お振込みをお願いいたします。
恐れ入りますが、振り込み手数料はご負担くださいますようお願いいたします。
個人情報等に関しましては、セミナーご参加目的に限り、当社からサイエンス＆テクノロジー株式会社へ転送いたします。
お見積書や領収書が必要な場合もお申し付けください。
ご要望・ご質問・お問合せはこちら
【お支払方法について】
以下のお支払方法がご利用いただけます。
１．銀行振り込み
以下のお支払方法がご利用いただけます。
１．銀行振り込み
２．クレジットカード
ご請求書は電子（.pdf）にて別途送付しますので、貴社お支払い規定に従い、お振込みをお願いします。
恐れ入りますが、振り込み手数料はご負担くださいますようお願いします。
（セミナー当日までにお振込頂く必要はございません。）
３．ＰａｙＰａｙ
４．楽天ペイ（オンライン決済）
５．楽天銀行決済
６．コンビニ決済
【領収書について】
領収書はマイページからご自身で発行できます。
・新規会員登録はこちらから領収書の発行時期に関するご注意
領収書の発行は、決済方法により取り扱いが異なります。
・クレジット／ネット決済：各クレジットカード会社・ネット決済会社の承認後に発行可能
・銀行振込／コンビニ決済：通常、弊社からの領収書の自動発行は行っておりません。適格請求書は別途PDFにて発行します。
（※コンビニ決済の払込票・受領証は、決済代行会社が発行するものとなります。）
弊社名義の領収書をご希望の場合は、お手数ですがお支払い後にお問い合わせフォームよりご連絡ください。確認でき次第、発行いたします。
※発行手続きは営業日対応のため、土日祝日は翌営業日以降となります。
