薄膜の剥離メカニズムと密着性改善
～スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに実践的に対処する際に知っておくべきこと～
受講可能な形式：【ライブ配信（アーカイブ配信付）】or【アーカイブ配信】
| 日 時 | 【ライブ配信】 2026年12月18日（金） 10:00～17:00 【アーカイブ配信】 2027年1月13日（水） まで受付 ［視聴期間：1/13～1/26］ | |
|---|---|---|
| 受講料(税込) | 55,000円 定価：本体50,000円＋税5,000円 【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン（2名で55,000円／1名あたり27,500円＝定価の半額）】 ※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。 2名様以降の受講者は、申込み前に会員登録をお済ませください。 ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。 ※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。 ※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。 ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。 (申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。) ※他の割引は併用できません。 ※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 1名申込みの場合：受講料 定価：44,000円 定価：本体40,000円＋税4,000円 ※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 | |
| ポイント還元 | 誠に勝手ながら2020年4月1日より、会員割引は廃止とさせて頂きます。 当社では会員割引に代わり、会員の方にはポイントを差し上げます。 ポイントは、セミナーや書籍等のご購入時にご利用いただけます。 会員でない方はこちらから会員登録を行ってください。 | |
| 配布資料 | Live配信受講：PDFテキスト(印刷可・編集不可) アーカイブ配信：PDFテキスト（印刷可・編集不可） ※セミナー資料は、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードいただきます。 (開催2日前を目安に、ダウンロード可となります) ※アーカイブ配信受講の場合は、配信日にマイページよりダウンロード可。 ※ダウンロードには、会員登録（無料）が必要となります。 | |
| オンライン配信 | 【Live配信の視聴方法】 【ライブ配信（Zoom使用）セミナー】 ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 ・ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください） ・アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください） 【テキスト】 テキストは、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードできます。 (開催2日前を目安に、ダウンロード可となります) 【マイページ】 ID(E-Mailアドレス)とパスワードをいれログインしてください。 >> ログイン画面 | |
| 備 考 | 資料 付 ※講義の録画・録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 本セミナーはサイエンス＆テクノロジー株式会社が主催いたします。 | |
セミナー講師
ペルノックス(株) 工学博士 岩村 栄治 氏 セミナー趣旨
本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、具体的な問題点とその解決のキーポイントの例示→その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→具体例などを使ってより詳しい解説、という順で平易に解説します。特に、なぜ剥離が発生するのか、密着力が弱いことが原因なのか、という点に焦点を絞って、界面や表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識、密着性改善の考え方、密着性や機械的特性の評価方法の原理や測定上のポイントについて詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜等についてもいくつかの実例を示しながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。
１．なぜ剥離が発生し、どのように改善するのか？
Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由
1.1 膜剥離を理解・対策するための３つのポイントとは？
・剥離形態を観察することで何がわかるか？
・剥離原因を簡単に絞り込む方法
1.2 異種材料間の界面を観察してみよう：
・剥離トラブルを避けて、密着性を向上させるためには界面のどこの何をみるべきか？
1.3 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か？
1.4 密着と粘着・接着との違い
1.5 薄膜が剥離するとは？：
・負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および歪みエネルギーの影響と剥離・破壊のモード
（引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持によっておこる剥離・破壊形態の違い）
1.6 薄膜の剥離・破壊に影響を与える応力を理解するポイント
・膜応力に関わる現象の全体像を把握する
・薄膜形成時に膜応力が生じる根本要因を理解しよう
・膜厚影響の本質とは
・密着性測定時に生じる応力の影響に注意しよう
1.7 壊れやすいところが剥離するという密着性の考え方の基本と破壊の力学
1.8 密着性向上の対策につなげる効果的な考え方と密着性改善の手法
２．密着力の測定からどのように剥離改善策につなげていくのか：スクラッチ試験を例に
Introduction 剥離対策に密着力の測定はどこまであてになるのか？
2.1 密着性の測定方法、条件の選び方：測定条件の影響と測定値の持つ意味
2.2 スクラッチ試験で現れる剥離・破壊の見た目から密着性を読み解く：材料設計への活かし方
・半定量的評価としてどこまで信用して良いか、どう評価結果を使うか？
・壊れ方が示してくれる剥離・破壊の要因の解釈の仕方
・スクラッチマップを活用する
2.3 スクラッチ試験の樹脂コーティング膜の密着性評価への展開
３．剥離のトラブルにどのように対処するのか
Introduction よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
3.1 剥離が起こった時の対処の手順と解析の方法
3.2 ケーススタディ１：思い込みで剥離対策をしてないか？（剥離の状況を丁寧に観察しよう）
3.3 ケーススタディ２：一般的な剥離対策の常識を信じて良いか？（対策のアプローチを再考しよう）
４．まとめ
□ 質疑応答 □
Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由
1.1 膜剥離を理解・対策するための３つのポイントとは？
・剥離形態を観察することで何がわかるか？
・剥離原因を簡単に絞り込む方法
1.2 異種材料間の界面を観察してみよう：
・剥離トラブルを避けて、密着性を向上させるためには界面のどこの何をみるべきか？
1.3 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か？
1.4 密着と粘着・接着との違い
1.5 薄膜が剥離するとは？：
・負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および歪みエネルギーの影響と剥離・破壊のモード
（引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持によっておこる剥離・破壊形態の違い）
1.6 薄膜の剥離・破壊に影響を与える応力を理解するポイント
・膜応力に関わる現象の全体像を把握する
・薄膜形成時に膜応力が生じる根本要因を理解しよう
・膜厚影響の本質とは
・密着性測定時に生じる応力の影響に注意しよう
1.7 壊れやすいところが剥離するという密着性の考え方の基本と破壊の力学
1.8 密着性向上の対策につなげる効果的な考え方と密着性改善の手法
２．密着力の測定からどのように剥離改善策につなげていくのか：スクラッチ試験を例に
Introduction 剥離対策に密着力の測定はどこまであてになるのか？
2.1 密着性の測定方法、条件の選び方：測定条件の影響と測定値の持つ意味
2.2 スクラッチ試験で現れる剥離・破壊の見た目から密着性を読み解く：材料設計への活かし方
・半定量的評価としてどこまで信用して良いか、どう評価結果を使うか？
・壊れ方が示してくれる剥離・破壊の要因の解釈の仕方
・スクラッチマップを活用する
2.3 スクラッチ試験の樹脂コーティング膜の密着性評価への展開
３．剥離のトラブルにどのように対処するのか
Introduction よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
3.1 剥離が起こった時の対処の手順と解析の方法
3.2 ケーススタディ１：思い込みで剥離対策をしてないか？（剥離の状況を丁寧に観察しよう）
3.3 ケーススタディ２：一般的な剥離対策の常識を信じて良いか？（対策のアプローチを再考しよう）
４．まとめ
□ 質疑応答 □
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当社ホームページからお申込みいただきますと、サイエンス＆テクノロジー株式会社より、お申込み時にご入力いただきましたメールアドレスにご視聴方法のご案内をお送りいたします。
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ご請求書（PDF）は、弊社よりお申込み時にご入力いただきましたメールアドレスに添付しお送りいたします。
銀行振り込みを選択された場合は、貴社お支払い規定（例：翌月末までにお振込み）に従い、お振込みをお願いいたします。
恐れ入りますが、振り込み手数料はご負担くださいますようお願いいたします。
個人情報等に関しましては、セミナーご参加目的に限り、当社からサイエンス＆テクノロジー株式会社へ転送いたします。
お見積書や領収書が必要な場合もお申し付けください。
ご要望・ご質問・お問合せはこちら
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